领先的PERC背钝化技术平台

FABiA®是市面上唯一一款可高速沉积PERC电池片的三合一设备。

梅耶博格的FABiA®融合了行业领先、久经市场考验的SiNA®和MAiA®模块化平台的所有优点。 

FABiA® 6.1的优势:

  • 市面上唯一一款用于正面和背面AlOx和SiN沉积的三合一系统
  • 与单工序设备相比,占地面积节约50%(每吉瓦产能可节约1000 m²) 
  • 生产成本比原子层沉积(ALD)+ 正面和背面管式PECVD沉积工艺低
    • 工艺气体节约30%
    • 电力节约50%
    • 人力节约67%
  • 产能高达6,350片/小时
  • 大规模生产良率高达98%
  • 由于操作环节减少、污染风险降低,因此效率更高

FABiA®支持PERC、PERx、p型和n型电池片,以及单晶和多晶硅片。相比其它解决方案,该设备无需湿式进料系统或加热装置。此外,成熟可靠的背钝化基准工艺方案在设备的量产提升过程中得以不断验证和优化。该一体化设备采用全自动化工艺流程,简化电池片生产过程。

占地面积节约50%

  

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