MAiA

PERC电池片镀膜设备

MAiA®采用高效的背钝化(PERC)升级技术对硅片进行镀膜处理。最新一代已升级至MAiA® 6.1

MAiA® 6.1 采用模块化设计理念,保证高投资回报。一体化的背面AlOx/SiN沉积,通过全流程的工艺自动化,简化了电池片生产。

MAiA®支持PERC和PERT电池理念,适用于单晶及多晶硅片,镀膜产能最高可达每小时6,000片。

随着已安装机台的全球总产能超过30 GW,MAiA®工业化解决方案可谓占尽优势,是无可争辩的行业标杆。此外,MAiA®平台可提供多种沉积膜层,选用不同数量的等离子源实现定制化的膜层厚度。

这一工艺将大规模生产中单晶硅片的转换效率提高到22%以上。MAiA® 6.1的工艺流程经过优化,降低了TMA的消耗量和用电量,并极大地节省了整个设备使用周期的人工成本。

久经考验的PERC工艺路线,在设备量产提升阶段将得到进一步的巩固及优化。

为您带来的效益:

  • 同一台设备集成两道模块化工序
  • 整体拥有成本最低,运行成本显著降低
  • 最优空间利用率:与单工序设备相比,占地面积节约30%
  • 每小时产能高达6,000片
  • 最大程度减少硅片传送步骤,大幅提高机械良率
  • 提供世界一流的客户服务,最大程度提高开机率
  • 完善的升级方案

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模块化设计

MAiA系统采用模块化设计,由多个工艺反应模块组成,模块之间通过缓存模块连接,这样在同一个系统内可依次完成多道加工工艺。每个系统均根据具体应用进行配置。

该系统还可根据客户的特殊需要进行个性化配置。且还可以适用于等离子体刻蚀工艺。

我们的服务

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