ToolCommander CTC

集群设备控制器

复杂设备系统的开放式解决方案

ToolCommander®CTC是一款创新的系统软件,用于在安装Windows 7操作系统的PC平台上对集群设备和在线设备实施控制。该软件与VAC设备控制器结合使用,可实施包括工艺与输送模块控制器在内的全面控制解决方案,既高效又可靠。该系统提供支持SECS/GEM标准的FabLink接口以及西门子的EDA解决方案,可集成到客户的生产自动化系统中。

ToolCommander®CTC具有开放性、可升级性以及模块化等特点。这一开放式系统非常灵活,可轻松适应新的输送与工艺模块,而且成本极低。此外,还可以轻松集成不同制造商的上料/下料装置以及工艺模块。作业、程序和工艺程序管理等所有重要功能均已完全配置妥当。

软件还标配基于XML的批量数据记录、过程值趋势图、内置可配置消息发送系统以及用户权限管理等功能。

该应用程序使用VACsuite自动化工具的图形化编辑器进行编程。功能扩展的编程或实施可使用高级语言(C++、C#、.net Assemblies、Jscript等)以图形方式实现。

 

为您带来的效益

  • 在线可视化(GUI)
  • 实现对整个设备及单个工艺模块的作业管理、程序和工艺程序管理
  • 片盒管理
  • 硅片/电池片跟踪 / 物料移动
  • 警报处理,可配置消息管理
  • 日志管理、批日志和数据记录
  • 趋势分析,每个模块的在线/离线趋势图,同时显示选定值显示
  • 用户管理
  • 符合SEMI标准(200mm和300mm)

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