Extbase Variable Dump
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PECVD

PECVD

Abscheidung von dünnen Schichten auf planen als auch auf 3-dimensionalen Substratoberflächen zur Herstellung von Einzelschichten und komplexen Mehrlagenschichten

Unsere Anlagen nutzen Niederdruckverfahren zur Abscheidung von dünnen Schichten auf planen als auch auf 3-dimensionalen Substratoberflächen. Es können Einzelschichten als auch komplexe Mehrlagenschichten aus sehr unterschiedlichen Schichtmaterialien hergestellt werden.

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