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IBD

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Abscheidung von dünnen Schichten auf planen als auch auf 3-dimensionalen Substratoberflächen zur Herstellung von Einzelschichten und komplexen Mehrlagenschichten

Der Prozess der Ionenstrahl-Beschichtung (Ion Beam Deposition = IBD) ist derzeit eines der bedeutendsten Verfahren bei den Ionenstrahlprozessen. Die Anlagen von Meyer Burger nutzen dabei Niederdruckverfahren zur Abscheidung und überzeugen zugleich mit einer cleveren Komponentenanordnung sowie Anwender- und Wartungsfreundlichkeit. Mittels  einer Ionenstrahlquelle werden Sekundärteilchen von einem Sputtertarget emittiert und durch eine auf den Prozess ausgelegte geometrische Anordnung auf einem Substrat als dünne Schicht abgeschieden.

Es besteht die Möglichkeit diese Schichten auf planen als auch auf 3-dimensionalen Substratoberflächen abzuscheiden. Dabei ermöglicht die Nutzung eines Targetkarussells sowohl die Abscheidung von Einzelschichten als auch die Erzeugung komplexer Mehrlagenschichten mit unterschiedlichen Schichtmaterialien.

Beginnend bei dem um ca. 2 Größenordnungen geringeren Prozessdruck und der räumlichen Trennung von Ionenerzeugung und Oberflächenprozess ermöglicht das Strahlverfahren unvergleichlich saubere Bedingungen. Mittels definierter Ionenenergie, konfigurierbarer Komponentenanordnung und damit einstellbaren Winkelbedingungen sind komplizierte und anspruchsvolle Prozesse besser zu beherrschen als mit den Konkurrenzverfahren.

Meyer Burger kann dank jahrelanger Erfahrung auf diverse Standardprozesse sowie  Anlagenkonzepte zurückgreifen und somit für kundenspezifische Prozessanforderungen Lösungen erarbeiten und anbieten. Damit werden den Kunden aus Industrie und Forschung komfortable Verfahren mit einer umfassenden Prozesskontrolle zur Verfügung gestellt. 

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