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CALiPSO

Neuartiger In-line-Ofen für verschiedene Wärmebehandlungen

Thermische Prozesse (Annealing, Curing) mit niedrigstem Energieverbrauch und voller Flexibilität der Substratgrösse

Der CALiPSO wird bei der Herstellung von kristallinen Silizium-Solarzellen verwendet. Der Ofen verfügt über ein Transportsystem, das aus Keramikrollen besteht und damit im Gegensatz zu den bisher in In-line-Diffusionsöfen üblichen Metall-Transportbändern keine metallischen Kontaminationen an der Solarzellenrückseite verursacht  Da die in gängigen Temperöfen verwendeten Transportcassetten nicht benötigt werden reduziert sich der Energieverbrauch und Cassettenbeladung sowie Rückführung entfallen.

Durch seinen modularen Aufbau mit individuell regelbaren Heizzonen, die eine Temperaturverteilung mit exzellenter Homogenität und Stabilität gewährleisten, sowie ein variables Gasmanagement ermöglicht der CALiPSO eine optimale Anpassung an das vom Kunden gewünschte Heizprofil.
Meyer Burger unterstützt seine Kunden gern bei der Auswahl des am besten geeigneten Modells.

Ihre Vorteile

  • Wafertransport in 8 Spuren für 6"-Zellen
  • Verschiedenste Waferformate und Gläser bis zu 1m² prozessierbar
  • Metallfreies Transportsystem mit Keramikrollen
  • Modulares Konzept mit grosser Variationsbreite in den Prozessparametern
  • Geringerer Energieverbrauch im Vergleich zu anderen Temperöfen mit Cassettentransport Wartungsfreundliches Design
  • Einfache Bedienung

Kontakt

Global Sales

+41 33 221 28 00

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