IBE

Beim Sputterätzen werden die in einer Gasentladung produzierten Inertionen (z.B. Edelgasionen) auf das Substrat beschleunigt, welches mit dem Plasma in Berührung steht.

Das Plasma wird in einem Parallel-Platten-Reaktor erzeugt. Prinzipiell ähnlich funktioniert das Ionenstrahlätzen (IBE, Ion Beam Etching), nur werden hierbei die Ionen mit einer Ionenkanone auf das Substrat beschleunigt. Plasma und Substrat sind räumlich getrennt. Der Abtrag erfolgt durch reines "Absputtern".

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