Muegge GmbH

Die MUEGGE GmbH ist der weltweit führende Anbieter für industrielle Mikrowelle und industrielle Plasmasysteme. Das Portfolio umfasst Mikrowellengeneratoren und – komponenten sowie Plasmasysteme für verschiedenste Anwendungen, wie beispielsweise industrielle Erwärmung mit Mikrowelle und insbesondere plasmatechnologische Verfahren (Rapid Reactive Radicals Technology, R3T). Die vielfältigen Anwendungsbereiche für durch Mikrowelle angeregte Plasmen sind in der Halbleiterindustrie, im Bereich „Flat Panel“ / OLED, MEMS, in der Medizintechnik, der Umwelttechnologie sowie in weiteren industriellen Bereichen.

Innovative Produkte und Technologien für industrielle Mikrowellen- und Plasmasysteme

Die wichtigsten Produkte umfassen das komplette Spektrum der Mikrowellenkomponenten sowie mikrowellenbasierte Plasma-Applikatoren. Hier sind eine Remote Plasma Quelle für den Einsatz in der Halbleiterindustrie und ein Plasma Array für das Beschichten von nahezu beliebig skalierbaren Flächen mit hoher Gleichmäßigkeit hervorzuheben.

Das Angebotsspektrum der MUEGGE GmbH reicht von der Beratung bei der Verfahrenstechnik über das Entwerfen von Anlagensystemen bis hin zu deren Konstruktion, Montage und Inbetriebnahme. Eine umfassende Kundenbetreuung steht dabei im Mittelpunkt.

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