Optical

Die spatiale ALD eignet sich perfekt für optische Schichten bei optischen Mehrschicht-Bandpassfiltern. ALD-Schichten werden Atom für Atom aufgebaut, sodass ihre Dicke über die Anzahl der Beschichtungsdurchgänge sehr präzise kontrollierbar ist. Genau das ist für Mehrschicht-Interferenzfilter erforderlich.

Nachfolgend belegt ein praktisches Beispiel den Übereinstimmungsgrad zwischen der theoretischen optischen Leistung eines idealen Bandpassfilters und einem mit ALD-Technologie konkret hergestellten Produkt.

Eine PET-Folie wurde mit einem Roll-to-Roll-ALD-Gerät dreilagig mit Al2O3 und TiO2 beschichtet, um einen maximalen Reflexionsgrad bei 550 nm zu erzielen. Das ALD-Verfahren basiert auf der Verwendung von TiCl4+H2O und TMA+H2O als Prozessgase bei einer Abscheidungstemperatur von 100 °C.

Das Ergebnis war eine sehr gleichmässige reflektierende Beschichtung mit einem maximalen Reflexionsgrad bei 550 nm. Wie im folgenden Diagramm erkennbar, war die Übereinstimmung mit dem berechneten theoretischen Modell nahezu perfekt. 

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Spatiale Atomlagenabscheidung (s-ALD)