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MS 2500

Anlagen-Systeme für die präzise grossflächige Magnetron-Sputter-Beschichtung

Die MS 2500 ist speziell für grossflächige Beschichtungen von astronomischen Spiegeln entwickelt.

Für die Produktion der Einzelspiegel für Grossteleskope werden höchste Ansprüche an Industriestandards in Bezug auf Durchsatz und Prozesswiederholbarkeit gestellt. Neben der herausfordernden Herstellung der Spiegelrohlinge und dem nachfolgenden mechanischen Schleifen und Polieren werden Plasmaverfahren zum Formen der Spiegelkontur mit Ion Beam Figuring (IBF) und Magnetron-Sputtern zum Abscheiden des Reflektors Filmstacks genutzt. Mit der MS 2500 bietet MicroSystems ein solches System für die Hochpräzisionsbeschichtung von astronomischen Spiegeln.

Einer der Hauptvorteile der MS 2500 ist, dass die verschiedenen Schichten, die für einen typischen Reflektorstack benötigt werden, in einem einzigen Durchgang abgeschieden werden können, ohne das Vakuum zu unterbrechen. Die verschiedenen Magnetrons können in jeder beliebigen Position betrieben werden, um die Drehbewegung abbilden zu können.

Kundennutzen

  • Hochpräzises Handling optischer Spiegel mit bis zu 2.000 mm Durchmesser und 2.000 kg Gewicht
  • Abscheidung eines typischen Reflektorstacks in einem Durchgang ohne Unterbrechung des Vakuums
  • Höchste Homogenität im radialen Sputter-Profil

Kontakt

Sales MicroSystems

+49 3723 671 234

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