Plasma Beschichtung

Meyer Burger bietet Know-how und Prozesse für eine Vielzahl von Vakuum- Prozesstechnologien.

Meyer Burger etablierte fortschrittliche plasmabasierte Beschichtungstechnologien in den produzierten Anlagen. In den Verfahren wie bspw. reaktives Ionenätzen (RIE) können beste Werte für Homogenität und Stabilität erreichen werden.

Kontakt

Sales MicroSystems

+49 3723 671 234

Sales Meyer Burger (Netherlands) B.V.

+31 (0) 40 2581 581

Plasma Beschichtungs-Verfahren

CVD

Chemical vapour deposition
(Chemische Gasphasenabscheidung)

PECVD

Plasma-enhanced chemical vapour deposition
(Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung)

MW PECVD

Microwave plasma-enhanced chemical vapour deposition
(Mikrowellen plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung)

PVD

Physical vapour deposition
(Physikalische Gasphasenabscheidung)