Heterojunction Zell Linie

Integrierte Zell-Linie der neusten Generation

Heterojunction (HJT) ist eine hoch effiziente Technologie zum Beschichten von Solarwafern.

Die Heterojunction-Technologie arbeitet mit n-type Wafern und verbindet die Vorteile kristalliner Siliziumsolarzellen mit den exzellenten Absorptions- und Passivierungseigenschaften von amorphem Silizium, das aus der Dünnschichttechnologie bekannt ist.

In einem integrierten Prozess wird in nur 6 Prozessschritten die HJT-Zelle hergestellt. Die zentralen Maschinen hierbei sind die HELiAPECVD und HELiAPVD. Für die Abscheidung der amorphen Siliziumschichten mittels PECVD auf der Vorder- und Rückseite wird die HELiAPECVD eingesetzt.

Die HELiAPVD scheidet mittels PVD-Sputter-Prozess TCO-Schichten auf der Vorder- und Rückseite ab. Die busbarlose Metallisierung wird danach im Siebdruckverfahren beidseitig aufgebracht und ermöglicht einen sehr geringen Silberverbrauch.

Ihre Vorteile

  • Hohe Lichtausbeute und hervorragende Passivierungseigenschaften durch a-Si
  • Geringer Temperaturkoeffizient der fertigen Solarzelle
  • Wirkungsgrade von mehr als 23 %
  • Geringere Produktionskosten durch Niedertemperaturprozess und weniger Herstellungsschritte
     


Bei Solarzellen auf der Basis der Heterojunction Technologie (HJT) handelt es sich um ein bereits bekanntes Zellprinzip, das bis heute aber erst von wenigen Unternehmen industriell genutzt wird. Meyer Burgers arbeitet seit 2008 an der Weiterentwicklung des Zellkonzeptes und hat die entsprechenden Anlagen für die Herstellung von Heterojunction-Zellen entwickelt.

Die Heterojunction Technologie verbindet die Vorteile kristalliner Siliziumsolarzellen mit den exzellenten Absorptions- und Passivierungseigenschaften von amorphem Silizium, das aus der Dünnschichttechnologie bekannt ist.

Für die Herstellung der Heterojunction-Zellen werden auf einen n-leitenden monokristallinen Siliziumwafer beidseitig dünne Schichten aus dotiertem und intrinsischem, amorphen Silizium sowie transparente, leitfähige Oxidschichten (TCO) aufgebracht.

Herstellung von Solarzellen mit Heterojunction Technologie

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