FABiA

Drei Beschichtungsprozesse in einer Anlage

FABiA® 6.1 kombiniert die Vorteile von PERC und die bewährten Features von SiNA® und MAiA® in einer Anlage.

FABiA® eignet sich ideal für PERx-Zell­pro­duk­ti­ons­li­ni­en. FABiA® besticht mit vielfältig anpassbaren Modulen und Prozessen bei tiefen Betriebskosten. Die Abscheidung verschiedener dielektrischer Schichten garantiert die Zukunftsfähigkeit der Zellen.

FABiA® kombiniert die Beschichtung mit AlOx/SiN (Rückseite) und SiN (Vorderseite) in der gleichen Anlage, was die beste Volumennutzung auf dem Markt garantiert. Für 1 GW sind nur 4 FABiA® 6.1 nötig. Dies bedeutet 50% weniger Platzbedarf als bei einer Einzelprozessanlage.

FABiA® eignet sich für PERC- und PERx- sowie p-type- und n-type-Zellkonzepte und für mono- und multikristalline Wafer. Monokristalline Wafer erreichen Effizienzwerte von > 22% in der Massenfertigung.

Bewährte PERC-Baselinerezepte werden unterstützt und beim Ramp-up optimiert. Integrierte Tools und vollständige Prozessautomation verringern die Komplexität der Zellproduktion.

Vorteile der FABiA für PERC-Zellbeschichtungen:

  • Tiefe Betriebskosten
  • 3 Prozesse in einer Anlage kombiniert
  • Optimierte Aufstellfläche, spart 1000 m2 Stellfläche pro 1 GW
  • Beste Zell- und Modulrentabilität
  • Durchsatz 6350 wph
  • Lebenslanger Service


Modularer Aufbau

Das flexible modulierbare System unterstützt künftige Upgrades. FABiA zeichnet sich durch eine geringe Stellfläche und hervorragende Raumausnutzung aus.

Das System besteht aus mehreren Prozessmodulen, die über Buffer-Module verbunden sind. Die Abscheidungsprozesse finden daher nacheinander in der gleichen Anlage statt. Jede Einheit ist für eine spezifische Anwendung konfiguriert. Ebenso können mehrere benutzerspezifische Beschichtungsprozesse programmiert werden.

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