PERC Equipment

Mit seinem modularen Beschichtungssystem bietet Meyer Burger seit zwei Jahrzehnten ein einzigartiges Anlagen-Konzept für die Massenproduktion von PERC-Solarzellen an. Mit einem Marktanteil von mehr als 60% ist die MAiA® / FABiA® / DiVA® / SiNA®-Anlagen-Serie heute das meistgenutzte System bei der Herstellung von PERC-Solarzellen weltweit.

Das inline-Beschichtungs-System besteht aus mehreren Prozessmodulen, die über Puffer-Module verbunden sind. Je nach Konfiguration können in einer einzigen Anlage verschiedene Prozesse nacheinander durchgeführt werden. Jede Prozessmodul-Einheit ist dabei für eine spezifische Anwendung konfiguriert.

Unsere PERC Produkte

DiVA
Vorder- und rückseitige SiN-Beschichtung
DiVA®

DiVA® 6.1 vereint SiN-Abscheidungsverfahren für Vorder- und Rückseite.

FABiA
Drei Beschichtungsprozesse in einer Anlage
FABiA®

FABiA® 6.1 kombiniert die Vorteile von PERC und die bewährten Features von SiNA® und MAiA® in einer Anlage.

MAiA
System für PERC-Zellbeschichtungen
MAiA®

MAiA® nutzt die hocheffiziente PERC-Technologie für die Waferbeschichtung. Neue Entwicklungen ermöglichen ein Upgrade auf MAiA® 6.1.

SiNA
Frontseitige SiN-Beschichtung
SiNA®

SiNA® ist ein in der Photovoltaik-Industrie bewährtes PECVD-System für die Antireflexbeschichtung von Silizium-Solarzellen