FLEx R2R PECVD

Roll-to-Roll-Plasma-Beschichtungs-Technologie mit hohem Durchsatz

Die FLEx R2R PECVD ist eine thermische plasma-basierte PECVD Produktionsanlage für die Abscheidung von dünnen und dicken R2R Schichten.

Die Plattform FLEx für R2R PECVD kombiniert unsere Hochrate-Plasmaquellen mit der Roll-to-Roll-Technologie. Die FLEx R2R PECVD-Anlagen nutzen entweder ETP- (Expanding Thermal Plasma) oder LMW-Plasmaquellen (lineares Mikrowellen-Plasma) für die Abscheidung von Beschichtungen mit optischen oder elektronischen Eigenschaften oder Barrierefunktionen. Dank unterschiedlichster Ausgangstoffe lassen sich dünne Schichten von SiNx, SiOx, aSi, SiC, AlOx, ZnO, DLC oder aC aufbringen.

Anwendungsbeispiele

Mit einer linearen Mikrowellenquelle eignet sich die FLEx R2R PECVD ideal für die Fertigung von feuchtigkeitssperrenden Beschichtungen auf Polymerfolien. Sie produziert SiNx Schichten mit einer Wasserdampfdurchlässigkeit von 10-5 g/m2/Tag [hoch- und tiefgestellt] mit 250 nm/min, die mit ausgezeichneter Homogenität bestechen. Dank des einzigartigen Tieftemperaturverhaltens von Mikrowellenplasma ist das Verfahren für PET- als auch PEN-Polymerfolien kompatibel.

Beim Einsatz von ETP-Plasmaquellen dient die Plattform zur Ausbringung einer amorphen Siliziumschicht auf Anodenfolien von Lithium-Ion-Batterien. Die unerreichte Abscheiderate von > 1 Mikron/min ermöglicht Siliziumbeschichtungen von 5 mg/cm2. Auch auf stark texturierten Folien werden ausgezeichnete Konformitäten erreicht.

Hauptvorteile

  • Ausgesprochen hohe Abscheidungsrate bei tiefen Betriebskosten
  • Ausgezeichnete Konformität
  • Niedriger Ionenbeschuss
  • Breiter Bereich von Prozesstemperaturen
  • Kompatibel mit unterschiedlichen Ausgangsstoffen und Plasmaquellen und daher breiter Anwendungsbereich

Hauptmerkmale

  • Einseitige oder beidseitige Bearbeitung
  • Geeignet für Metall- und Polymerfolien
  • Rollenwechsel ohne Unterbrechung des Prozessvakuums
  • Einfache Erweiterbarkeit auf zusätzliche Prozessmodule dank modularem Design

Kontakt

Sales Meyer Burger (Netherlands) B.V.

+31 (0) 40 2581 581

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