FLEx LT

PECVD-Beschichtungs- & Stripping-Anlage

Die FLEx LT ist ein thermisches plasma-basiertes PECVD F&E Equipment für die Abscheidung von dünnen und dicken S2S Schichten.

Kompakte und flexible Vakuumlösung für ultraschnelle Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD). Diese Technologie ermöglicht das Abscheiden dünner Schichten von gasförmigem Zustand (Dampf) auf ein Substrat. Die PECVD-Technologie besticht zudem mit den schnellsten Abscheideraten im Verbund mit ausgezeichneten Eigenschaften der Schichten. Die FLEx-Plattform kann neben der PECVD-Beschichtung auch für ultraschnelle Stripping- oder Ätzverfahren verwendet werden. Das System ist konfigurierbar und dank der Vielzahl möglicher Plasmaquellen und Vorgängergasen für eine Vielzahl von Anwendungsbereichen optimierbar.

Hauptvorteile

  • Ultraschnelle Abscheidung mit ETP-Plasmaquellen
  • Niedrigtemperaturabscheidung mit linearem Mikrowellen-Plasmaquellen
  • Ultraschnelles Stripping oder Ätzen mit Radical Plasma Source Quelle
  • Ausgezeichnete Uniformität und Konformität
  • Kein Ionenbeschuss
  • Breiter Anwendungsbereich mit einer Vielzahl von Vorläuferasen
  • Möglichkeit zur Integration mehrerer Verfahren
  • Dynamischer Prozess (bewegendes Substrat), kompatibel zu Inline-Upscaling und Rolle-zu-Rolle-Verfahren
  • Industrieerprobte Module für eine Fertigung rund um die Uhr
  • Auf einfache Prozessoptimierung angelegt
  • Geringer Raumbedarf
  • Hohe Verfügbarkeit

Hauptmerkmale

  • Ausgereifte und präzis kontrollierte Heizsysteme
  • Intelligenter Prozessmanager und (optionales) Datenloggingsystem
  • Ausgereifte und präzise Massregelung für die Gasverteilung
  • Drei Plasmaquellen verfügbar; optimiert für Niedertemperaturbetrieb, hohe Abscheide- und hohe Ätzrate
  • Trägergestütztes Substrattransportsystem, Top- oder Frontbeladung
  • Grosse Flexibilität bezüglich Substratart und Schichtdicke
  • Vakuumraum mit Unterteilung in drei Bereiche; Load-Lock / Vorheizen, dynamischer und statischer Prozess
  • Reinraumkompatibel
  • Optimale Prozesskontrolle über grafische Benutzeroberfläche

Kontakt

Sales Meyer Burger (Netherlands) B.V.

+31 (0) 40 2581 581

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