Waferinspektion
Das Wafer-Inspektionssystem überprüft die Qualität der einzelnen Siliziumwafer. Dadurch werden Mikrorisse, Material- und Oberflächenschäden in den Siliziumwafer erkannt und die Leitfähigkeit gemessen.
Unser Wafer-Inspektionssystem WIS
Das Inspektionssystem für Siliziumwafer von Meyer Burger liefert verlässliche Ergebnisse. Das System prüft die Siliziumwafer auf Qualität und Leistungsfähigkeit mit höchster Genauigkeit und gleichzeitig hohem Durchsatz.
Vorteile der Wafer-Inspektion:
- Erkennung von kleinsten Mikrorissen und Materialschäden
- Klassifizierung der Leitfähigkeit jedes Wafers
- Automatisierte Qualitätskontrolle und Sortierprozess
- Messung verschiedener Parameter wie Dicke, Kanten, Sägespuren, Leitfähigkeit und Lebensdauerprognosen
- Modularer Aufbau für die Integration in eine Solarmodulproduktionslinie