Muegge GmbH

MUEGGE GmbH 是微波技术领域的国际顶级供应商。其产品包含微波发生器及部件,以及不同用途的电源配套技术,例如工业微波加热,特别是等离子技术。MUEGGE生产的工业等离子发生器微波系统,广泛应用于半导体和平板显示领域。 

不断推出用于工业微波和等离子体系统的创新产品和技术

Muegge的服务范围从工程工艺研发到工厂工程系统的建造、装配、工厂启动以及全面的客户支持。其主要产品包括基于工业微波等离子体的部件和等离子体源,比如用于生成半导体行业用离子基(快速反应离子基技术,R3T)的高性能远程等离子体源。

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