Tamiris

Inhouse-entwickelte Ionenstrahlquellen

Die Ionstrahlquellen der Baureihe tamiris nutzen Elektron-Cyclotron-Resonanz (ECR) zur Mikrowellen Plasmaanregung.

Die Quellen der tamiris Serie nutzen die patentierte Elektron-Zyclotron-Resonanz (ECR) zur Plasmaanregung. Die Mikrowellenkoppelung erfolgt mittels lokaler Stabantenne. Dieses Prinzip ist auch in rauer Umgebung sehr robust und ermöglicht eine modulare Skalierung. Diese Mikrowellen-Antennen können sowohl in kreisförmigen Quellen als auch in Reihen angeordnet sein, zur Bildung einer quasi linearen Plasmaanregung.  Diese linearen Quellen sind in der Standardausführung mit einem Breitstrahl bis zu 580 mm verfügbar, kundenspezifische Konfigurationen können mit 2000 mm Länge oder länger angeboten werden.

Kontakt

Sales MicroSystems

+49 3723 671 234

Standort

Meyer Burger (Germany) AG

An der Baumschule 6-8
DE-09337 Hohenstein-Ernstthal

+49 3723 671 101

+49 3723 671 1000

Type

tamiris 120-f

tamiris 120-a

tamiris 220-f

tamiris 400-l

tamiris 600-l

Grids Dimension

120 mm

120 mm

218 mm

380 mm x 110 mm

580 mm x 110 mm

Grids

3 grid, flat and collimating with different focus length, C and Mo

3 grid, flat and collimating with different focus length, C and Mo

3 grid, flat and collimating with different focus length, C and Mo

3 grid, flat and cylindrical with different focus length, C and Mo

3 grid, flat and cylindrical with different focus length, C and Mo

Mounting

DN 150

DN 250 adjustable

DN 350

Special

Special

Energy/ Current

2.0 keV / 350 mA

2.0 keV / 350 mA

2.0 keV /

450 mA

2.0 keV /

500 mA

2.0 keV /

750 mA

Cooling

Water

Water

Water

Water

Water

Gases

Noble gases, O2, N2, Halogen containing gases

Noble gases, O2, N2, Halogen containing gases

Noble gases, O2, N2, Halogen containing gases

Noble gases, O2, N2, Halogen containing gases

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