LPS Serie

Hohe Plasmadichte und große Homogenität

Linear Mikrowellenplasmaquellen für großflächige Homogenität.

Die patentierten LPS Mikrowellenquellen sind lineare Quellen und bestehen aus einem teilweise transparenten zylindrischen Wellenleiter, der von beiden Seiten zugeführt wird. Der koaxiale Mikrowellenleiter wird von einem massiven Innenleiter und einem Quarzrohr mit umgebendem Plasma gebildet, so dass die fortschreitende Welle die Entladung speist. Ein integrierter Zweikanal-Gasversorgungssystem sorgt für eine optimierte Plasmadichte und Homogenität entlang der Quelle. Diese Quellen werden vorzugsweise in Inline-Systemen (LPS 1.0) oder in Arrays (LPS 2.1) angeordnet und sind die Basis für die großflächige Oberflächenbearbeitung in den AK Anlagensystemen von MicroSystems.

Type

LPS 1.0

LPS 2.1

Principle

Microwave excitation along transparent microwave guide

Microwave excitation along transparent microwave guide

Size

Max 1.3 m

Max 1.3 m

Mounting

Special - Wall mounted

Special - Wall mounted

Exitation Frequency

2.45 GHz

2.45 GHz

Source Power

2x 4 kW CW / 2x 10 kW P

2x 4 kW CW / 2x 10 kW P

Cooling

Air / Water

Air / Water

Gases

Noble gases, N2, H2, O2, Halogen containing gases, Hydorcarbons, SiH4, NH3, N2O, Silicon-organic precursors, TMA

Noble gases, N2, H2, O2, Halogen containing gases, Hydorcarbons, SiH4, NH3, N2O, Silicon-organic precursors, TMA

Kontakt

Sales MicroSystems

+49 3723 671 234

Standort

Meyer Burger (Germany) AG

An der Baumschule 6-8
DE-09337 Hohenstein-Ernstthal

+49 3723 671 101

+49 3723 671 1000

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